用作低温(-100℃)制冷剂,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料
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用作干刻剂,低温制冷剂R-502的替代品,或者分别与HFC-134a、HFC-152a形成混合制冷剂替代HCFC-22
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可制备多种含氟精细化工产品、药物中间体、灭火剂等原料,还可制得含氟高分子材料
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用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等
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在高压开关中用作灭弧,在大容量变压器和高压电缆中作绝缘材料,也用于粒子加速器及避雷器,还可作冷冻剂
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主要用于生产苯酐,也是生产染料、医药等的原料
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